Pompa vakum kering pada dasarnya mempunyai bentuk sebagai berikut:
Kembar-Jenis Lobus
Desain tipe lobus-kembar sangat mirip dengan pompa Roots, yang saat ini merupakan tipe yang paling populer dan banyak digunakan. Faktanya, beberapa konsep paling awal untuk desain pompa kering pada dasarnya melibatkan penumpukan beberapa pompa Roots secara bersamaan. Desain multi-tahap ini menghasilkan jalur aliran gas yang agak rumit, dan setiap tahap memerlukan aliran gas nitrogen dalam jumlah besar untuk berfungsi sebagai pengencer dan penghalang. Selain itu, untuk mencapai tingkat vakum yang tinggi, diperlukan toleransi yang sangat ketat mengenai jarak antar tahapan. Tentu saja, karena desain ini meningkatkan rasio kompresi internal, konsumsi dayanya relatif rendah.
Tri-Jenis Lobus
Prinsip pengoperasian tipe-lobus tri{0}}sama dengan tipe-lobus kembar; satu-satunya perbedaan adalah, selama satu putaran, gas dibagi menjadi tiga paket terpisah-bukan dua, seperti halnya desain lobus-kembar. Oleh karena itu, kedua desain ini memiliki kelebihan dan kekurangan yang sama. Untuk lebih mengurangi konsumsi daya, beberapa pabrikan memilih untuk menggunakan dua motor DC dalam mekanisme penggerak; namun, pendekatan ini juga mengakibatkan berkurangnya torsi dan berkurangnya kapasitas untuk menghidupkan kembali pompa. Seperti halnya desain-lobus kembar, setiap tahapan desain tri-lobus memerlukan aliran gas nitrogen dalam jumlah besar untuk melakukan fungsi pengenceran dan isolasi.
Tipe Hibrida (Akar + Cakar)
Desain Hibrid (Roots + Claw) menggunakan tahap Roots untuk meningkatkan efisiensi pemompaan pada tingkat tekanan yang lebih rendah, sekaligus menggunakan tahap Claw untuk meningkatkan efisiensi pada tingkat tekanan yang lebih tinggi. Prinsip pengoperasian dasar dan jalur aliran gasnya identik dengan desain tipe lobus yang disebutkan di atas. Namun, beberapa produsen memilih untuk mengganti tahap akhir dengan desain "tipe{4}}bintang"; konfigurasi ini memungkinkan gas untuk dibagi menjadi lima paket terpisah per rotasi-sama seperti desain tri-lobus yang membaginya menjadi tiga. Demikian pula, dalam banyak aplikasi proses yang kompleks, setiap tahap desain hibrid memerlukan aliran gas nitrogen dalam jumlah besar untuk berfungsi sebagai pengencer dan penghalang.
Jenis Sekrup Kompresi Eksternal
Desain jenis sekrup kompresi eksternal-menggunakan sepasang sekrup yang berjarak sama. Konfigurasi ini meminimalkan kompresi internal sekaligus menciptakan jalur aliran gas yang sesingkat dan sesederhana mungkin. Akibatnya, waktu tinggal gas di dalam ruang pompa dijaga agar tetap minimum. Meskipun desain ini memerlukan konsumsi daya yang relatif lebih tinggi karena berkurangnya rasio kompresi internal, desain ini menunjukkan stabilitas dan keandalan yang luar biasa dalam berbagai proses manufaktur semikonduktor yang kompleks. Desain satu-tahap ini menerapkan persyaratan minimal dan sederhana terkait konsumsi nitrogen, sehingga memastikan pertukaran yang sangat baik di berbagai proses. Dalam banyak proses bersih, penggunaan nitrogen bahkan dapat dihilangkan sama sekali.
Pompa Sekrup Kompresi Internal
Selain menggunakan sepasang sekrup non-isoparametrik, prinsip pengoperasian dasar desain pompa ulir kompresi internal sangat mirip dengan desain pompa ulir kompresi eksternal. Pengurangan volume antar sekrup secara terus menerus menghasilkan kompresi internal. Dengan memfasilitasi kompresi internal, desain ini mengurangi konsumsi daya ke tingkat yang sebanding dengan pompa multi-tahap. Namun, dalam banyak proses-seperti pompa multi-tahap-kompresi internal ini sangat rentan menyebabkan perubahan fisikokimia pada gas di dalam badan pompa, yang berpotensi menyebabkan pemadatan atau pencairan.
